EUV将使用等离子和激光制造下一代芯片

微芯片无处不在,很容易忽略它们的真正杰出之处。像温控器或唱歌贺卡一样平凡的东西包含数百万个微观结构,这些微观结构是有史以来开发的最杰出的制造工艺之一。自1977年左右以来,当前的流程一直在发展,其工作方式类似于投影仪。激光通过掩膜发出的光,就像芯片的设计图一样,然后将掩膜投射到涂在硅板上的光敏化学品上。结果几乎就像曝光照片一样:光将芯片的图像传输到硅上,在那里可以将其直接蚀刻到金属中。这个过程称为光刻,随着它变得越来越先进,晶体管变得越来越小,越来越快并且更加节能。

制作芯片的特定机制已经非常复杂,需要原子级的精度和一些有史以来最精确的制造工具,但是当前的方法有其局限性。这个过程已经使用了将近15年,而且已经用尽了。现在,芯片上晶体管的部分尺寸约为7至10纳米,远小于用于制造它们的193nm紫外线。

如果我们要继续制造更好,更快的芯片,制造商需要重新设计工艺,而新工艺是极紫外光刻或EUV。公司多年来一直致力于开发芯片制造的下一步,而我们刚刚看到第一批使用EUV制成的设备进入市场。

要了解有关此过程的更多信息,我去了英特尔的两家制造工厂,他们正在开发EUV,亲自看一下机器,并了解有关这种极端制造的更多信息。

作为一种革命性的飞跃,EUV仍将芯片蓝图投射到硅上,但是它使用波长极小的光来做到这一点,这对于创建微小的特征更好。

在这些微小的波长下,几乎所有的东西都吸收紫外线,而典型的激光无法产生紫外线。该过程更加奇特,涉及液态金属和高能等离子体。技术挑战巨大,但回报是我们设备速度和能源效率的飞跃。

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