乙硅烷（英语：Disilane），又称硅乙烷，是一种有毒的化合物，分子式为Si2H6，在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似，都是无色易燃的气体，但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱，因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源，只要经过简单的化学反应就可以得到氢。另外它也可以用来以薄膜沉积制备纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一[1]。
免责声明：该自媒体文章由实名作者自行发布（文字、图片、视频等版权内容由作者自行担责），且仅为作者个人观点，不代表 秒送号（Miaosong.cn）立场，未经作者书面授权，禁止转载。［投诉 · 举报作者与内容］
